NAVI Titaniumsinterirani nehrđajući čelikje materijal dobiven metalurgijom praha koji može biti porozan ili gust. Izrađen je od prethodno-legiranog praha od nehrđajućeg čelika ili višeslojne mreže od nehrđajućeg čelika prešanjem i visoko{2}}temperaturnim vakuumskim sinteriranjem. Kao proizvođač s potpunim samo-istraživačkim i proizvodnim mogućnostima, NAVI Titanium predan je pružanju integriranih rješenja za visoko-pouzdane filterske elemente od sinteriranog nehrđajućeg čelika za globalno tržište. Od 2008. NAVI Titanium je isporučio filtere od sinteriranog nehrđajućeg čelika za više od 160 industrijskih projekata, koji pokrivaju poluvodičku cirkulaciju CMP kaše, isporuku plina ultra-visoke čistoće i farmaceutsku filtraciju u Europi, jugoistočnoj Aziji i Sjevernoj Americi.
Rješenje NAVI Titanium
NAVI Titanium duboko je uključen u industriju titana više od deset godina, uvijek stojeći na čelu s profesionalnom stručnošću i osnažujući razvoj industrije uz posvećenost kvaliteti. Ne samo da je akumulirao zrelo proizvodno iskustvo, već je također izgradio kompletan sustav proizvoda i precizne mogućnosti-prilagodbe polja. Robna marka ide ukorak s globalnim nadogradnjama u industriji, kontinuirano ponavljajući proizvode, optimizirajući parametre i poboljšavajući izvedbu kako bi pružila prilagođena visoko-kvalitetna rješenja za titan za kupce u različitim sektorima. Zahvaljujući svojim ključnim prednostima poput male težine, otpornosti na koroziju, velike čvrstoće, visoke-tolerancije na temperaturu i velike stabilnosti, NAVI Titanium je stekao široko priznanje i primjenu. Tablica u nastavku konsolidira sve ključne informacije o trenutnim glavnim proizvodima NAVI Titaniuma od titana, pokrivajući detaljne specifikacije, parametre veličine, pokazatelje performansi, karakteristike materijala, primjenjive scenarije i prikladna polja, dajući sveobuhvatan pregled osnovnih snaga i prilagodljivosti proizvoda.
NAVI Titanium isporučuje po narudžbisinterirani nehrđajući čelikkomponente. Proizvodimo limove, diskove, prirubnice i razne dijelove posebnog{1}}oblika. Izrađeni metalurgijom praha s ujednačenom poroznom strukturom, ovi dijelovi imaju stabilnu propusnost, otpornost na visoke temperature i koroziju, idealni za filtraciju, difuziju plina, smanjenje buke i ventilaciju.
Primjena
Sinterirani nehrđajući čelikje porozni metalni materijal nastao vakuumskim sinteriranjem praha od nehrđajućeg čelika 304/316L na-visokoj temperaturi u jedan komad. Njegova interno povezana tro-dimenzionalna mikroporozna struktura omogućuje preciznu prilagodbu veličina pora u rasponu od 0,1 do 100 μm. Kombinira jedinstvene prednosti metala, uključujući visoku čvrstoću, otpornost na koroziju, otpornost na visoke-temperature, bez odvajanja vlakana, mogućnost čišćenja i recikliranja te nisko ispiranje metala.
NAVI Titanium sinterirani nehrđajući filtarski elementi osnovne su filtracijske komponente u poluvodičkim sustavima za isporuku plina ultra{0}}visoke-čistoće. Obično su sinterirani od nehrđajućeg čelika 316L ultra-visoke-čistoće i podvrgnuti su elektropoliranju i vakuumskoj pasivizaciji kako bi se osigurala površina bez-defekata i spriječilo ispiranje nečistoća. Njihove primarne primjene dijele se na tro-sustav koji se sastoji od pred-pre-filtracije, srednje-precizne filtracije i-krajnje{12}}stupanjske filtracije: prednja-filtracija presreće velike čestice nečistoće, hrđu i prašinu u cjevovodu kako bi zaštitila nizvodnu preciznu opremu; srednje{14}}stupanj filtracije precizno uklanja čestice submikronske-veličine kako bi se održala stabilna čistoća plina; a završna-faza filtracije izravno je povezana s procesnom komorom kako bi se osiguralo da plin koji ulazi u proces ispunjava ultra{17}}visoke-standarde čistoće.
Dodatno, za poluvodičke primjene koje uključuju korozivne specijalne plinove, ovaj proizvod-zahvaljujući svojoj izvrsnoj otpornosti na halogene, kiseline i lužine-može dugoročno stabilno raditi u plinskim okruženjima na bazi fluora- i klora-a da ga medij ne nagriza i ne stvara sekundarne nečistoće. U usporedbi s organskim filtarskim medijima kao što su PTFE i staklena vlakna, njegova visoka-temperaturna otpornost, otpornost na starenje i ne-hlapljiva svojstva čine ga savršeno prikladnim za visoko-temperaturne plinske procese, potpuno rješavajući industrijski-izazov kontaminacije plinom uzrokovan{-razgradnjom organskih materijala na visokim-temperaturama.
Vodič za kupnju
Kontrola kvalitete (QC)
NAVI Titanium strogo kontrolira kvalitetu tijekom cijelog procesa, a svaka serija proizvoda dolazi s kompletnim izvješćem o inspekciji kvalitete. Od analize sastava sirovina i testiranja mehaničkih performansi do verifikacije otpornosti na koroziju, svi podaci ispitivanja su stvarni i sljedivi, dajući pouzdan dokaz kvalitete za vaš odabir projekta.
|
|
Proces proizvodnje
Umješnost je ključni temelj kvalitete proizvoda i to je glavna snaga NAVI Titaniuma u industriji titana više od desetljeća. Tijekom cijelog proizvodnog procesa, NAVI Titanium drži do detaljne kontrole u svakom koraku, od odabira sirovina, taljenja i kovanja, precizne obrade, finog poliranja, površinske obrade do konačnog oblikovanja. Svaki postupak ima vlastiti skup obrtničkih standarda i operativnih normi kako bi se osiguralo detaljno upravljanje u cijelosti. Za razliku od standardnih proizvodnih procesa u industriji, možemo fleksibilno prilagoditi proces na temelju prilagođenih potreba kupaca, optimizirajući strukture proizvoda i parametre performansi kako bi se precizno uskladili sa zahtjevima materijala za razne high-end aplikacije. Članak u nastavku dat će potpuni uvid u osnovne tehnike izrade, tokove procesa, prednosti i tehnološke naglaske cijele linije proizvoda NAVI Titanium, jasno pokazujući kako se svaki proizvod transformira od sirovog materijala do gotovog komad.
|
|
|
|
304 nasuprot 316 nasuprot 316L sinterirani nehrđajući čelik
NAVI Titanium sinterirani porozni materijali od nehrđajućeg čelika, sa svojom strukturom pora koja se može kontrolirati, visokom specifičnom površinom, izvrsnom mehaničkom čvrstoćom i obradivošću, naširoko se koriste u distribuciji tekućina, tretiranju korozivnih medija, katalitičkim nosačima i drugim primjenama. U nastavku smo sastavili ovaj usporedni dokument kako bismo kvantitativno analizirali razlike između sinteriranih nehrđajućih čelika 304, 316 i 316L i njihove brzine reakcije korozije u različitim medijskim okruženjima. Također objašnjava učinke sastava legure, mikrostrukture i parametara pora na brzinu reakcije, pomažući inženjerima, osoblju za nabavu i osoblju za istraživanje i razvoj da dovrše odabir materijala. Podaci u nastavku služe samo za referencu.
| Značajka | 304 | 316 | 316L |
| Opća otpornost na koroziju | Dobro | viši | viši |
| Okruženje klorida | Umjereno | Bolje | Bolje |
| Nizak{0}}udio ugljika | Ne | Ne | Da |
| Razmatranja -korozije povezana sa zavarivanjem | Standard | Standard | Bolje |
| Tipične primjene | Opća industrija | Kemijski / morski | Kemijska/poluvodička/visoka-čistoća |
U različitim korozivnim medijima i redoks okruženjima, kemijska stabilnost samog materijala izravno određuje njegov životni vijek, a 'brzina reakcije korozije' je ključni pokazatelj za odabir materijala. Mnogi kupci često brkaju granice performansi sinteriranih nehrđajućih čelika 304, 316 i 316L: sva tri su austenitni nehrđajući čelici sa sličnim sustavima baznih legura, ali razlike u sadržaju ugljika i molibdena mogu značajno promijeniti stabilnost pasivnog filma, što zauzvrat utječe na brzinu reakcije korozije u kiselim,-koji sadrže klorid i okruženja visoke-temperature.
| Korozivni medij | Srednja koncentracija | Temperatura | 304 Brzina korozije mm/god | 316 Brzina korozije mm/god | 316L brzina korozije mm/god | Preporučeni odabir |
| Čista voda | Deionizirana voda | 25 stupnjeva | ＜0.001 | ＜0.001 | ＜0.001 | 304 Prvo trošak |
| Octena kiselina | 5% | 25 stupnjeva | 0.002 | 0.001 | 0.001 | 304 |
| Fosforna kiselina | 10% | 25 stupnjeva | 0.008 | 0.002 | 0.002 | 316/316L |
| Limunska kiselina | 10% | 25 stupnjeva | 0.003 | 0.0012 | 0.0012 | 304 |
| Otopina natrijevog klorida (slana voda) | 3,5% NaCl (simulirana morska voda) | 25 stupnjeva | 0,18 (pitting) | 0.022 | 0.020 | 316L |
| Razrijeđena sumporna kiselina | 0,5% H2SO4 | 25 stupnjeva | 0.12 | 0.045 | 0.041 | 316L |
| Natrijev hidroksid (kaustična soda) | 20% NaOH | 80 stupnjeva | 0.005 | 0.004 | 0.004 | 304 Prvo trošak |
| Natrijev hipoklorit (klorno dezinficijens) | 0,5% NaClO | 25 stupnjeva | 0,32 (pitting) | 0.072 | 0.065 | 316L, ima ograničen vijek trajanja |
| Dušična kiselina | 10% HNO3 | 25 stupnjeva | 0.004 | 0.005 | 0.005 | 304 |
| Osjetljivo okruženje (drži se na 500~700 stupnjeva nakon sinteriranja) | Zrak, vodena para u tragovima | 25 stupnjeva | 0,35 (interkristalna korozija) | 0,11 (blaga interkristalna korozija) | 0.003 | 316L |
Primjena
CMP suspenzija nije jednostavna tekućina, već vrlo složen disperzijski sustav nanočestica. Tipična CMP kaša obično se sastoji od nano-koloidnog silicija; nano-cerijev oksid (CeO₂); nano-aluminij (Al₂O3); oksidansi (H₂O₂, Fe(NO3)3, itd.); pH regulatori; disperzanti; površinski aktivne tvari; inhibitori; i ultračistu vodu (UPW). Nano-abrazivi su ono što doista ima učinak mehaničkog poliranja. Njihova veličina čestica obično se kontrolira između 20 i 100 nm, a cijeli sustav kaše mora održavati izuzetno visoku stabilnost disperzije. Za napredni CMP bakra, velika većina čestica u kaši mora biti koncentrirana u rasponu veličine čestica od 30 do 60 nm. Ako se čestice počnu aglomerirati, stvarajući velike čestice od 300 nm, 500 nm ili čak veće od 1 μm, to će uzrokovati ozbiljna oštećenja na površini ploče. Stoga prava meta CMP filtara nisu normalne abrazivne čestice, već abnormalne čestice koje se neprestano stvaraju tijekom rada sustava.
Mehanizam nastanka abnormalnih aglomerata
Tijekom kontinuiranog rada u tvornici, CMP suspenzija nije statičan sustav, već se neprestano podvrgava cirkulaciji, smicanju, promjenama tlaka i kemijskim reakcijama. Tijekom ovog procesa, nanočestice se mogu postupno agregirati zbog van der Waalsovih sila, učinaka elektrostatske zaštite ili promjena u kemijskom okruženju, tvoreći velike aglomerate mnogo veće od izvornih čestica. Čimbenici koji utječu na formiranje aglomeracije uključuju smicanje velikom-brzinom cirkulacijske pumpe što dovodi do kvara lokalnog disperzanta; produljeno vrijeme skladištenja gnojnice što rezultira smanjenom koloidnom stabilnošću; promjene temperature koje mijenjaju površinski naboj čestica; povećana koncentracija metalnih iona u kaši koja komprimira električni dvostruki sloj i inducira agregaciju čestica; i zrak koji ulazi u cirkulacijski sustav stvarajući mikromjehuriće, potičući premošćivanje čestica.
Iako je ovih aglomerata iznimno malo, njihova veličina obično doseže stotine nanometara ili čak nekoliko mikrometara. Kada uđu u područje poliranja, zbog svoje mnogo veće veličine od normalnih abrazivnih čestica, stvaraju lokalizirane točke visokog-naprezanja između jastučića za poliranje i pločice, što u konačnici dovodi do površinskih ogrebotina. Stoga CMP sustavi filtriranja moraju kontinuirano uklanjati te abnormalne čestice bez narušavanja normalne raspodjele veličine čestica nano-abraziva.
Tradicionalne polimerne membrane prvenstveno se oslanjaju na -dvodimenzionalne membranske strukture za površinsko zadržavanje. Tijekom filtracije, čestice se nakupljaju na površini membrane, tvoreći sloj kolača, što dovodi do brzog povećanja razlike tlaka. Nasuprot tome, NAVI titaniumsinterirani nehrđajući čelikkoristi tro-dimenzionalnu međusobno povezanu mikroporoznu strukturu. Njegovi unutarnji kanali međusobno su povezani, omogućujući česticama ne samo zadržavanje na površini, već i postupnu raspodjelu po dubini kanala, postižući tipičnu dubinsku filtraciju. Ova metoda filtracije nudi nekoliko značajnih prednosti. Prvo, nano-sus teče ravnomjerno kroz cijelu mrežu pora, sprječavajući stvaranje lokaliziranih zona ribanja velikom-brzinom i smanjujući abrazivno trošenje medija za filtriranje. Drugo, veće aglomerirane čestice preferirano se zadržavaju na ulazima u kanale, dok normalne nanočestice mogu glatko proći kroz njih, ne mijenjajući značajno distribuciju veličine čestica kaše.
Treće, budući da su zagađivači raspoređeni po cijelom sloju filtra, a ne koncentrirani na površini, veća količina zagađivača može se primiti po jedinici filtracijske površine, produžujući životni vijek filtra. Konačno, ovaj proizvod posjeduje visoku mehaničku čvrstoću, što mu omogućuje da izdrži online povratno ispiranje. Zadržane čestice uklanjaju se obrnutim protokom tekućine, što omogućuje ponovnu upotrebu filterskog uloška bez česte zamjene.
Značajke primjene u Copper CMP
Bakar CMP je ključni korak u Damascene (damascene interconnect) procesu. Njegov cilj je ukloniti bakrenu prevlaku uz zadržavanje bakrene ispune u kanalima i otvorima. Zbog visoke duktilnosti i niske tvrdoće bakra, on je osjetljiv na lokalizirano mehaničko naprezanje tijekom CMP-a, zbog čega je stanje čestica kaše posebno važno za stabilnost procesa. Bakreni CMP kaše obično koriste koloidni silicijev dioksid kao primarni abraziv, s veličinom čestica općenito kontroliranom između 30 i 80 nm, te su dopunjene kemijskim dodacima kao što su vodikov peroksid i benzotriazol (BTA) za regulaciju oksidacije i inhibicije korozije na površini bakra. Primarni zadatak sinteriranih nehrđajućih filtara u bakrenom CMP-u je uklanjanje abnormalnih čestica nekoliko puta većih od normalne veličine abrazivnih čestica, umjesto presretanja svih čestica.
Ako je veličina pora filtra premala, uhvatit će veliku količinu normalnog abraziva, mijenjajući sastav kaše i smanjujući učinkovitost uklanjanja materijala; ako je veličina pora prevelika, ne može učinkovito ukloniti aglomerirane čestice. Stoga se u industrijskim primjenama obično koriste gradijentne filtracijske strukture, dopuštajući kaši da progresivno uklanja kontaminante različitih veličina u različitim fazama filtracije, dok održava relativno stabilnu koncentraciju nano-abrazivnih čestica. Druga ključna funkcija je kontrola abrazivnih metalnih čestica. Pumpe, ventili i cijevi u bakrenim CMP cirkulacijskim sustavima podvrgnuti su dugotrajnom -strujanju abrazivnog mulja, pri čemu se ispuštaju tragovi metalnih krhotina. Te su čestice obično tvrđe od površine bakra i lako stvaraju duboke ogrebotine tijekom poliranja.Sinterirani nehrđajući čelik, sa svojom stabilnom tro-dimenzionalnom poroznom strukturom, može učinkovito uhvatiti te metalne ostatke tijekom duljeg razdoblja bez promjena veličine pora zbog abrazivnog udara velike-brzine.
Zahtjevi za filtriranje u Tungsten CMP
Tungsten CMP prvenstveno se koristi za strojnu obradu volframovih utikača u kontaktnim utikačima i planarnim interkonekcijama. U usporedbi s bakrom, volfram je tvrđi, a postupak uklanjanja uglavnom se oslanja na kombinaciju kemijske oksidacije i mehaničkog mljevenja. Stoga se oksidanti i abrazivi visoke-tvrdoće obično dodaju u kašu. Volfram CMP filtri moraju izdržati znatno više razine abrazije. Budući da je abrazivna snaga rezanja u kaši jača, obični polimerni filterski mediji skloni su proširenju pora ili trošenju membrane nakon dugotrajnog-radnja. Ovaj proizvod, međutim, ima integralni sinterirani metalni kostur, sposoban izdržati kontinuirano ribanje velikom-brzinom i održavati točnost filtracije tijekom dugog razdoblja. Volfram CMP je vrlo osjetljiv na metalne nečistoće.
Ako sam filter ima ostatke od zavarivanja, nedovoljno pasivizirana područja ili taloženje metalnih iona, to može utjecati na kemijsku reakciju na površini volframa. Stoga visokokvalitetni-sinterirani nehrđajući filtarski elementi obično koriste 316L nisko{3}}sumporni prah nehrđajućeg čelika, koji se podvrgava elektropoliranju i pasivizaciji ultračistom kiselinom kako bi se stvorio stabilan krom-oksidni film na površini filtarskog elementa, smanjujući rizik od taloženja željeza, nikla i drugih elemenata.
Uloga kontrole čestica u STI CMP (Shallow Trench Isolation CMP)
STI (Shallow Trench Isolation) CMP se uglavnom koristi za uklanjanje materijala silicijevog oksida nakon punjenja jarka, čime se postiže električna izolacija između tranzistora. Budući da STI izravno utječe na naknadno formiranje vrata, njegovi zahtjevi za kvalitetom planarizacije su izuzetno visoki. STI kaše obično koriste nano-cerijev oksid (CeO₂) kao glavni abraziv. Njegove čestice imaju visoku kemijsku aktivnost i mogu sinergistički reagirati s površinom silicijevog dioksida, poboljšavajući učinkovitost poliranja. Karakteristika kaše cerijevog oksida je da čestice imaju jak površinski naboj, što ih čini sklonima aglomeraciji zbog pH ili promjena koncentracije iona.
Ako aglomerirane čestice uđu u područje poliranja, ne samo da mogu uzrokovati ogrebotine, već i dovesti do prekomjernog-uklanjanja lokaliziranih područja utora, uzrokujući odstupanja u dimenzionalnoj strukturi izolacijske strukture. Ovaj filtar kontinuirano uklanja aglomerate dubokom filtracijom. Istovremeno, zbog jednolikog unutarnjeg polja strujanja kroz pore, smanjuje lokalno smicanje kaše tijekom filtracije, pomažući u održavanju disperzije čestica cerijevog oksida. Ovo je važnije za STI CMP od jednostavnog poboljšanja točnosti filtracije, budući da održavanje stabilne disperzije abraziva izravno poboljšava ujednačenost poliranja.
FAQ
Pri kojem diferencijalnom tlaku treba izvršiti čišćenje? Kada je potrebno zamijeniti NAVI Titanium filtarski element?
+
-
Početni diferencijalni tlak za normalan rad NAVI Titanium filtarskog elementa je 0,02–0,06 MPa; kada diferencijalni tlak poraste na 0,12–0,25 MPa, preporuča se zaustaviti sustav i izvršiti regeneracijsko čišćenje. Ako nakon višestrukog čišćenja diferencijalni tlak ostane iznad 0,35 MPa, protok se kontinuirano smanjuje ili dođe do preciznog curenja, filterski element se mora zamijeniti.
Koji je standardni postupak zamjene za NAVI Titanium filter element?
+
-
Zaustavite sustav i otpustite tlak → ispustite medij → rastavite filterski uložak i očistite šupljinu → pregledajte i zamijenite zastarjele O-prstenove/brtve → postavite filterski element u skladu sa smjerom protoka → ravnomjerno zategnite završne kapice dijagonalno → polako povećavajte tlak pri niskom tlaku i provedite probni rad te potvrdite da nema curenja prije formalnog rada.
Radni vijek elementa filtera i standardi zbrinjavanja?
+
-
Pod čistim radnim uvjetima i pravilnim održavanjem, može se regenerirati 25-35 puta, s vijekom trajanja od 3-5 godina. Ako dođe do korozivnih jama, strukturne deformacije, trajnog začepljenja mikropora ili trošenja površine brtve, zamjena je obavezna.
Udovoljavaju li NAVI filterski elementi od nehrđajućeg čelika od sinteriranog titana ekološkim standardima EU?
+
-
Svi su izrađeni od materijala 316L bez kemijskog premaza, ne sadrže SVHC tvari koje izazivaju -brigu, u skladu su sa zahtjevima REACH i RoHS i ne otpuštaju metalne ione ili vlakna tijekom rada. Potvrde o sukladnosti mogu se osigurati za tvorničke revizije.
Kako treba postupati s odbačenim elementima filtera NAVI Titanium?
+
-
Oni su potpuno metalni materijali koji se mogu reciklirati i ne smatraju se opasnim otpadom. Mogu se jednoobrazno skupljati za pretapanje i recikliranje, ispunjavajući propise EU o kružnom gospodarstvu i olakšavajući korisnicima uspostavu evidencije o radu i održavanju za okoliš.
Popularni tagovi: sinterirani nehrđajući čelik, Kina proizvođači, dobavljači, tvornica sinteriranog nehrđajućeg čelika, Sinterirani nikl filter, Sinterirana cijev od nehrđajućeg čelika
